Зав.редакцией:
Л. Г. Пономарева
Адрес редакции:
117218, Москва, Нахимовский просп., 36, корп. 1
+7 (499) 129-54-46
Информационный ресурс
в сети Интернет:
Присутствие в базах данных:
Присутствие переводной версии в базах данных:
Описание журнала:
Основан в 1972 г. Журнал «Микроэлектроника» публикует статьи, посвященные технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание издание уделяет новым тенденциям в литографии, травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях, плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость.
Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.
Редколлегия:
Г.Я. Красников, академик РАН, д.т.н., проф. - главный редакторРедакционная коллегия
В.В. Аристов;
А.А. Бухараев;
А.Г. Васильев;
А.А. Горбацевич;
В.Ф. Лукичев – ответственный секретарь;
П.П. Мальцев;
И.Г. Неизвестный – зам. главного редактора;
А.С. Сигов;
М.Н. Стриханов;
Р.А. Сурис;
Ю.А. Чаплыгин;
В.А. Шахнов
