24.03.2020

Труды Института общей физики им. А.М.Прохорова. Т.62: Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии

  • Издательство: М.: Наука
  • ISBN: 5-02-034130-4
  • Год: 2006
  • Колич. страниц: 147
  • Тираж: 400

СТОИМОСТЬ: 77 руб.

ПРЕДЗАКАЗ

Описание книги:

Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 нм - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в манометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию.   Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.