Труды Института общей физики им. А.М.Прохорова. Т.62: Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
СТОИМОСТЬ: 77 руб.
ПРЕДЗАКАЗОписание книги:
Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 нм - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в манометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.